28nm光刻机卡住“02专项”，冷静一下也好
28nm光刻机卡住“02专项”，冷静一下也好
各种渠道不能是单一独立存在，光刻而得联动存在。
首次基于铝箔上直接生长的超柔性径向结光电探测单元，住02专于手腕处成功实现了对脉搏信号的光体积描记术（PPG）检测（探测光@800nm）。图1.径向结红外光电探测器的制备流程以及脉搏信号探测示意图此工作基于课题组硅基径向结薄膜光电器件的系列研究工作（见附录），冷静其中纳米线结构通过低温350°C气-液-固(VLS)技术直接生长在铝箔之上。
南京大学电子科学与工程学院博士生张少波同学为论文的第一作者，下也好余林蔚教授、刘宗光副研究员为论文共同通讯作者。图2.径向结表面所承受应力分析此工作近期发表于《先进功能材料》，光刻AdvancedFunctionalMaterials(2021) 2107040DOI:10.1002/adfm.202107040。相关工作得到了电子科学与工程学院的徐骏教授、住02专施毅教授、陈坤基教授的大力支持，以及国家自然科学基金项目支持，在此一并表示衷心感谢。
柔性光电探测在生物传感/检测、冷静可穿戴和个性化实时健康监测等领域中有广泛的应用。进一步研究分析发现：下也好径向结所承受的应力主要集中在径向结根部与平面部分，比径向结顶部所承受的应力要大3~4个数量级。
由于硅纳米线在软的铝箔表面所形成稳固的锚（anchor）接触，光刻对保护表面淀积薄膜的完整性起到了关键的稳定作用，光刻避免了薄膜在受力时发生剥离、破裂、脱落，可以在力学特性不稳定的软铝箔基底上构建高品质、性能稳定的光电器件。
得益于3D硅米线架构，住02专该器件即使弯曲1000次（弯曲半径为10mm）后，住02专仍具有~140mA/W@800nm的响应度及超快的响应速率tr=5.4μs,tf=17.6μs（弯折前为3.6μs/13.2μs）。延续2015年年底的高速爆发，冷静2016年一季度空气净化器市场仍然保持着相对良好的发展态势。
另外，下也好在高端化趋势表现得如火如荼的同时，线下中低端市场在一季度的市场中也引发了一轮波澜。根据GfK(中国)在线市场零售监测数据显示，光刻空气净化器2016年一季度手机智能操控型号的金额占比达到16.8%，同比增加13.3个百分点。
住02专空气净化器市场自2013年爆发性增长后已经进入了第四个年头。随着城镇化率的不断提高，冷静这一市场的发展空间非常可观，并有望成为未来空气净化器市场的增长助力。